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近日,中国船舶八院鹏力超低温成功出厂一套KDCP-8L低温真空泵产品。该产品是鹏力超低温2020年推出的重点系列产品之一,成功打破国外企业的垄断。
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低温真空泵利用10K(-263℃)低温制冷机作为冷源,通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空,其运行过程无油无污染,成本低,具有气体抽速大、排速快、操作简便、稳定可靠、使用寿命长等特点。
因其本身的优良特性,十分适合洁净无油、快速抽气、超高真空的场景,尤其在溅射镀膜设备、蒸发镀膜设备、离子注入设备、分子束外延设备、空间模拟装置、高能物理研究装置等方面有广泛的应用。
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